Реактив магнетрон цацах нь нимгэн нийлмэл давхаргыг өргөн хүрээний субстрат дээрдээд давхарга эсвэл завсрын давхарга болгон олон давхаргат бүрээсэнд буулгахболовсронгуй арга юм. "Нимгэн"-ийн хамрах хүрээ хэдхэн нанометрээс хэдэн микрометр хүртэл байна.
Магнетрон яагаад цацдаг вэ?
Магнетрон цацах нь осолдсон тоосонцор ба байны хоорондох мөргөлдөөний процесс юм … Магнетрон цацах нь зорилтот катодын гадаргуу дээр соронзон орон үүсгэн плазмын нягтыг нэмэгдүүлж, хязгаарлалтыг ашиглан плазмын нягтыг нэмэгдүүлдэг. цэнэглэгдсэн бөөмс дээрх соронзон орон нь цацрах хурдыг нэмэгдүүлнэ.
Реактив цацалт гэж юу гэсэн үг вэ?
Реактив шүрших нь цусны сийвэн дэх реактив хий (ихэвчлэн хүчилтөрөгч эсвэл азот) оруулах замаар нэгдлүүдийг хуримтлуулах үйл явц юм нь ихэвчлэн идэвхгүй хий, тухайлбал аргон (хамгийн түгээмэл), ксенон эсвэл криптон.
Магнетрон цацагч хэрхэн ажилладаг вэ?
Магнетрон цацах нь хийн сийвэнг ялгаруулж, 'зорилтот'-т байршуулах материалыг агуулсан орон зайд хязгаарлагддаг тунаалтын технологи юм. … Эдгээр мөргөлдөөн нь электростатик түлхэлтийг үүсгэж, цацаж буй хийн атомуудаас электронуудыг 'тасалж' иончлол үүсгэдэг.
Яагаад RF цацдаг вэ?
RF эсвэл Радио давтамж цацах нь тодорхой төрлийн цацах зорилтот материалд цэнэг үүсэхээс зайлсхийхийн тулд вакуум орчин дахь гүйдлийн цахилгаан потенциалыг радио давтамжид солих техник юмбөгөөд энэ нь цаг хугацааны явцад плазм руу нум үүсгэж, дусал цацдаг …